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【其它答案】2018-07-25

  有几个原因:真空室漏气或漏水,真空室内有挥发的成分,没有充入氩气,充入空气或其他其他,可能引起中毒,这些成分与靶材反应,变成黑色覆盖靶材表面,影响成膜速度。
  
  将靶材用中品源或射频源打一两个小时,可以恢复。
  
  将靶材拆出来,用砂纸抛光,也可解决。
  
  防止靶材中毒,首先保证真空室不漏,清理内部,除去挥发成分等。

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