四丰电子知识问答
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绑定靶材的背板为什么喷砂?

从一般意义上讲,喷砂是通过砂料撞击工件表面,使工件表面产生一定的粗糙度。这样涂层与工件表面才有更牢靠的抓力。所以您这里背板做喷砂处理,可能是希望靶材与背板产生更强的抓合力. . . 阅读全文

镀膜时,金属靶材中毒严重,为什么?怎么避免?以及中毒后靶材怎么处理?

  有几个原因:真空室漏气或漏水,真空室内有挥发的成分,没有充入氩气,充入空气或其他其他,可能引起中毒,这些成分与靶材反应,变成黑色覆盖靶材表面,影响成膜速度。      将靶材用中品源或射频源打一两个小时,可以恢复。      将靶材拆出来,用砂纸抛光,也可解决。      防止靶材中毒,首先保证真空室不漏,清理内部,除去挥发成分等。 . . . 阅读全文

磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗

  磁控溅射过程中,等离子体的离子撞击靶材,溅射出靶材的原子、原子团、离子、电子、光子等,原子、离子、原子团沉积到基材上形成薄膜。      溅射发生在靶材表面,靶材表面物理状态不均匀也没有关系,溅射的时候会先溅射凸起,溅射时间长了,靶材自己就平了。所以物理不均匀的状态不需要抛光。      溅射过程不影响靶材合金、混合材质的比例和性质,所以如果是表面容易变质的靶材,如果不抛光去除. . . 阅读全文

溅射工艺有哪几种

溅射镀 膜就是最近发展起来的 一 种新的表面处理技术。表面处理技术能使材料的物理机械和化学性能得到提高,而 溅射 镀膜比以往的真空镀膜具有“高速、低温”两个 显著 的特点 。   靶材 形状:板材,圆片,矩形,方形,圆环, 圆 棒,台阶圆片,台阶矩形,三角形,管状靶,套靶等或按客户要求订做,可根据客户提. . . 阅读全文